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半導體真空泵-廈門太星機電生產批發(fā)-半導體真空泵廠家
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廈門太星機電有限公司

經營模式:商業(yè)服務

地址:廈門市集美區(qū)東安前占里19號之二

主營:真空泵,螺桿真空泵,水環(huán)真空泵,真空泵機組

業(yè)務熱線:0592-6800154

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產品詳情 聯(lián)系方式
產品品牌:廈門太星機電
供貨總量:不限
價格說明:議定
包裝說明:不限
物流說明:貨運及物流
交貨說明:按訂單
有效期至:長期有效

半導體真空泵-廈門太星機電生產批發(fā)-半導體真空泵廠家


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廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環(huán)真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。

散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一,通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵,它需要機械泵作為前級泵。

影響油擴散泵性能的因素如下。

1、油擴散泵的返流。

2、氣體分子的反擴散。

3、擴散泵油的裂化分解,一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(室溫下0.00000001Pa左右),受熱穩(wěn)定性好,不易被氧化,分子量大的高沸點的液體,如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈,污染物質留在泵內并重復循環(huán),影響其真空度。



廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環(huán)真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。


通常擴散泵的性能是以極限真空、大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。

1.極限真空

如果對一般油擴散泵的結構進行改進,如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進噴嘴角度設計,加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴散泵性能大大改善,極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa,起始壓力正好是機械泵的極限壓力,因此,油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵,將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。

2.大反壓強

大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強大值。如果前級泵所產生的壓強高于大反壓強,則擴散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運動理論來推算出來。

4.設置冷阱及低溫擋板的原因




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(1)目前國內生擴散泵的廠家較多,型號、尺寸不統(tǒng)一,大泵越作越大,小泵則很少生產。況且對泵的性能也沒有考核指標。行業(yè)應對提和質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作,使用戶配套方便。(2)泵在結構方面:要縮小尺寸、降低重量,保證零件的加工精度,可增加級數(shù),提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。(3)增加附件。如設置擋油帽,過熱保護裝置(對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和復位)。出口壓力的監(jiān)控。(4)規(guī)定油量的大值和小值和耗油量(如0.5~0.7 g/h等)。要觀察油位,以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。(5)給出合適的前級泵的容量。(6)為了節(jié)能加熱功率要可調,要快速起動和快速冷卻停泵,提高設備的運轉率。(7)給出各種被抽氣體的性能曲線,好給出對一些氣體的壓縮比(方便用戶選用。(8)用微機控制運行和故障診斷。(9)密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。(10)給出各種泵的返油率限定值,進一步降低返油率,擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬(1~10-5Pa以下),它比其它高真空泵的可靠性高,成本低,只有少數(shù)部件需要維修,泵內無運動部件,工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr,使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。

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