
廈門太星機電有限公司
經營模式:商業服務
地址:廈門市集美區東安前占里19號之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環真空泵,真空泵機組
業務熱線:0592-6800154
廈門太星機電服務維修-iGX600N干式真空泵維修
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廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
高純氣體系統種類:
簡單供氣系統
簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單,通常不需要連續性供氣,對氣體供應系統的投資預算低。
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對于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了控制流量,在氣源端一般會考慮配置高的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計,壓力調節閥。對于高反應性和自燃氣體,應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區設計,即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點,要點對點,中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此,整個管路系統中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。管道還要有良好的接地。
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等,干冰機及干冰清洗、3D打印服務
為了排除凝結水,蒸汽和其他含水的氣體管道應有一定的坡度,一般不小于千分之二。對于利用重力流動的地下排水管道,坡度不小于千分之五