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廈門iGX100L半導體真空泵-廈門太星機電
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廈門太星機電有限公司

經營模式:商業服務

地址:廈門市集美區東安前占里19號之二

主營:真空泵,螺桿真空泵,水環真空泵,真空泵機組

業務熱線:0592-6800154

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產品詳情 聯系方式
產品品牌:廈門太星機電
供貨總量:不限
價格說明:議定
包裝說明:不限
物流說明:貨運及物流
交貨說明:按訂單
有效期至:長期有效

廈門iGX100L半導體真空泵-廈門太星機電


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廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。

高真空油擴散泵是一種蒸氣射流泵,其工作原理是把工作介質(擴散泵油)的動能在抽氣方向上傳給被抽氣體來作為基礎的。擴散泵的抽氣過程是被抽氣體擴散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口排除的過程。其工作極限真空度在10-2~10-5 Pa范圍內。應用在設備上的擴散泵工作范圍在10-2~10-4 Pa范圍內。


廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。


通常擴散泵的性能是以極限真空、大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。

1.極限真空

如果對一般油擴散泵的結構進行改進,如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進噴嘴角度設計,加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴散泵性能大大改善,極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa,起始壓力正好是機械泵的極限壓力,因此,油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵,將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。

2.大反壓強

大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強大值。如果前級泵所產生的壓強高于大反壓強,則擴散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。

4.設置冷阱及低溫擋板的原因




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擴散泵在長期工作后性能會逐漸變壞,應定期檢查。如:泵油是否減少或氧化,按相應要求加油或更換處理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用進行擦洗,并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風吹干。處理完后,按順序進行裝配,保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心,各級噴嘴間隙要按原要求調整好。

待水分揮發干以后裝好泵芯,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。

在重新開機前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維護泵,關好大門,數分鐘后,觀察真空度,同時檢查連接處是否漏裝密封膠圈,或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒壞,無法進入工作狀態。




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