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廈門太星機電服務維修-iGX100MTI半導體真空泵維修
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廈門太星機電有限公司

經(jīng)營模式:商業(yè)服務

地址:廈門市集美區(qū)東安前占里19號之二

主營:真空泵,螺桿真空泵,水環(huán)真空泵,真空泵機組

業(yè)務熱線:0592-6800154

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產(chǎn)品詳情 聯(lián)系方式
產(chǎn)品品牌:廈門太星機電
供貨總量:不限
價格說明:議定
包裝說明:不限
物流說明:貨運及物流
交貨說明:按訂單
有效期至:長期有效

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廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環(huán)真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。

散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一,通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵,它需要機械泵作為前級泵。

影響油擴散泵性能的因素如下。

1、油擴散泵的返流。

2、氣體分子的反擴散。

3、擴散泵油的裂化分解,一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)(室溫下0.00000001Pa左右),受熱穩(wěn)定性好,不易被氧化,分子量大的高沸點的液體,如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈,污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復循環(huán),影響其真空度。



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(1)目前國內(nèi)生擴散泵的廠家較多,型號、尺寸不統(tǒng)一,大泵越作越大,小泵則很少生產(chǎn)。況且對泵的性能也沒有考核指標。行業(yè)應對提和質(zhì)量進行定期檢查、組織生產(chǎn)廠家多做改進工作,使用戶配套方便。(2)泵在結(jié)構(gòu)方面:要縮小尺寸、降低重量,保證零件的加工精度,可增加級數(shù),提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。(3)增加附件。如設置擋油帽,過熱保護裝置(對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和復位)。出口壓力的監(jiān)控。(4)規(guī)定油量的大值和小值和耗油量(如0.5~0.7 g/h等)。要觀察油位,以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時更換。(5)給出合適的前級泵的容量。(6)為了節(jié)能加熱功率要可調(diào),要快速起動和快速冷卻停泵,提高設備的運轉(zhuǎn)率。(7)給出各種被抽氣體的性能曲線,好給出對一些氣體的壓縮比(方便用戶選用。(8)用微機控制運行和故障診斷。(9)密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。(10)給出各種泵的返油率限定值,進一步降低返油率,擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬(1~10-5Pa以下),它比其它高真空泵的可靠性高,成本低,只有少數(shù)部件需要維修,泵內(nèi)無運動部件,工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr,使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。

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利用水冷擋油帽,使泵的抽速稍有損失外,可使返油率降低。對于許多應用場合是允許的。若在系統(tǒng)附加些管道、閥門和彎管,可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光學密閉的障板,可限制主要返流,但使泵的抽速約下降50%。次要的返流(即冷凝在表面上的泵油遷移和再蒸發(fā)是表面溫度和泵油蒸汽壓的函數(shù),到達真空室的這種返流量取決于設置在泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度,常用液氮( 77K)冷阱來捕集油分子。因此真空室的壓力明顯地低于泵油的蒸汽壓。障板或冷阱不僅必須光學密閉,而且還必須使進入障板或冷阱的油分子與冷面少碰撞一次。對于使用吸附劑(如沸石)的障板,為避免油分子直線飛行,要設置交錯的吸附劑托盤。沸石是一種含有直徑比氣體分子直徑稍大的微孔物質(zhì)。1盎司( 28.35g)沸石內(nèi)部約有5英畝吸附面積,在小型超高真空系統(tǒng)中,使用分子吸附劑障板是有效的。因為在低壓下,在幾個星期內(nèi)它能連續(xù)地吸附碳氫化合物和其它氣體,并不需要液氮。

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