
廈門太星機電有限公司
經營模式:商業服務
地址:廈門市集美區東安前占里19號之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環真空泵,真空泵機組
業務熱線:0592-6800154
莆田真空泵-廈門太星機電(推薦商家)-半導體真空泵系統
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廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。
通常擴散泵的性能是以極限真空、大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。
1.極限真空
如果對一般油擴散泵的結構進行改進,如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進噴嘴角度設計,加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴散泵性能大大改善,極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa,起始壓力正好是機械泵的極限壓力,因此,油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵,將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。
2.大反壓強
大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強大值。如果前級泵所產生的壓強高于大反壓強,則擴散泵就不能正常工作。
3.抽氣速率
擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。
4.設置冷阱及低溫擋板的原因

廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。
擴散泵系統的壓強不穩定的原因,有內部和外部之分。泵外的原因有:①來自橡膠墊圈的氣泡;②從障板上滴落下的泵油;③高的前級耐壓;④阱除霜;⑤阱內冷凍層的。泵內的原因有:①泵油爆沸或沸騰不穩定;②在導流管外部油的沸騰;③輕氣體的低壓縮比;④噴咀內的液滴;⑤頂噴咀變冷(蒸汽冷凝);⑥鍋爐附近泄漏,泵體要檢漏。
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利用水冷擋油帽,使泵的抽速稍有損失外,可使返油率降低。對于許多應用場合是允許的。若在系統附加些管道、閥門和彎管,可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光學密閉的障板,可限制主要返流,但使泵的抽速約下降50%。次要的返流(即冷凝在表面上的泵油遷移和再蒸發是表面溫度和泵油蒸汽壓的函數,到達真空室的這種返流量取決于設置在泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度,常用液氮( 77K)冷阱來捕集油分子。因此真空室的壓力明顯地低于泵油的蒸汽壓。障板或冷阱不僅必須光學密閉,而且還必須使進入障板或冷阱的油分子與冷面少碰撞一次。對于使用吸附劑(如沸石)的障板,為避免油分子直線飛行,要設置交錯的吸附劑托盤。沸石是一種含有直徑比氣體分子直徑稍大的微孔物質。1盎司( 28.35g)沸石內部約有5英畝吸附面積,在小型超高真空系統中,使用分子吸附劑障板是有效的。因為在低壓下,在幾個星期內它能連續地吸附碳氫化合物和其它氣體,并不需要液氮。