廈門(mén)太星機(jī)電有限公司
經(jīng)營(yíng)模式:商業(yè)服務(wù)
地址:廈門(mén)市集美區(qū)東安前占里19號(hào)之二
主營(yíng):真空泵,螺桿真空泵,水環(huán)真空泵,真空泵機(jī)組
業(yè)務(wù)熱線:0592-6800154
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廈門(mén)太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷(xiāo)售、維修等,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質(zhì)輸送、控制系統(tǒng)集成,以及實(shí)驗(yàn)室搭建和無(wú)塵潔凈室建設(shè)工程總包服務(wù)商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷(xiāo)售及維修,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。
高純供氣系統(tǒng)功能:
可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施,泄漏偵測(cè),遠(yuǎn)程緊急切斷;氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取?
高純供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)
1.材料的選擇
特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門(mén)一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。

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2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路短,拐彎少,布置緊湊合理,給人簡(jiǎn)單美觀的感覺(jué)。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定,基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險(xiǎn)性,許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里,對(duì)于穿墻或穿過(guò)夾道的地方,周?chē)形kU(xiǎn)源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方,露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。
廈門(mén)太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷(xiāo)售、維修等,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質(zhì)輸送、控制系統(tǒng)集成,以及實(shí)驗(yàn)室搭建和無(wú)塵潔凈室建設(shè)工程總包服務(wù)商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷(xiāo)售及維修,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置高的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒(méi)有三通。管道還要有良好的接地。







