
廈門太星機電有限公司
經營模式:商業服務
地址:廈門市集美區東安前占里19號之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環真空泵,真空泵機組
業務熱線:0592-6800154
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廈門真空泵維修,廈門真空泵,廈門螺桿真空泵
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
高純氣體系統種類:
簡單供氣系統
簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單,通常不需要連續性供氣,對氣體供應系統的投資預算低。
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
高純供氣系統功能:
可實現自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;氮氣吹掃起源等等。
高純供氣系統設計
1.材料的選擇
特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
3、輔助系統的設計
氣體柜或控制面板在安裝和運輸的過程中由于搬運和震動,閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢,氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣,所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設置一臺或多臺惰性氣體柜。