廈門太星機電有限公司
經營模式:商業服務
地址:廈門市集美區東安前占里19號之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環真空泵,真空泵機組
業務熱線:0592-6800154
廈門泄漏檢測-油箱泄漏檢測-廈門太星機電生產批發
廈門真空泵維修,廈門真空泵,廈門螺桿真空泵
廈門太星機電有限公司專生產真空泵、銷售、維修等,主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
科研院所實驗室以及工廠車間生產線經常用到超高純工藝氣體,這些氣體的純度要求大多在99.999%(5N)或以上,而不同類型的氣體對管件的要求也不同,常用管件為SUS316不銹鋼管。
工藝氣體管路安裝規范
1、所有氣體管道都由高質量的、完全退火型,無縫連接的不銹鋼管組成。特氣管道需用EP級管件,切不能與不得與線纜,導電性同架鋪設。
2、所有的管路、閥門、壓力表都由高質量的不銹鋼構成,并且都是標準配件。特氣部分材質需為EP級。
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
3.大宗特氣供氣系統
大規模供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大規模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括NH3),發光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體種類包括HCL)等行業。它們的投資規模巨大,采用先進的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。

廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
對于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了控制流量,在氣源端一般會考慮配置高的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計,壓力調節閥。對于高反應性和自燃氣體,應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區設計,即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點,要點對點,中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此,整個管路系統中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。管道還要有良好的接地。







