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莆田廈門分子泵維修維修保養-廈門太星機電
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廈門太星機電有限公司

經營模式:商業服務

地址:廈門市集美區東安前占里19號之二

主營:真空泵,螺桿真空泵,水環真空泵,真空泵機組

業務熱線:0592-6800154

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產品品牌:廈門太星機電
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交貨說明:按訂單
有效期至:長期有效

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廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。

擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產生大量的油蒸氣,油蒸氣經導流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強,被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中,隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來,再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮,由前級泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環工作達到抽氣目的。



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通常擴散泵的性能是以極限真空、大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。

1.極限真空

如果對一般油擴散泵的結構進行改進,如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進噴嘴角度設計,加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴散泵性能大大改善,極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa,起始壓力正好是機械泵的極限壓力,因此,油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵,將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。

2.大反壓強

大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強大值。如果前級泵所產生的壓強高于大反壓強,則擴散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。

4.設置冷阱及低溫擋板的原因




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現代的油擴散泵在泵入口處,泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發速率的水平。

只有在使用時遵守一定的操作規程,才能保證系統的正常工作。前已詳細敘述過有關機械泵、擴散泵的操作規程。經人們生產實踐,對排氣系統,也同樣總結出來一套操作規程。以高真空排氣系統為例(其他真空設備可仿照施行),其操作規程如下:①檢查真空系統各部分,熟悉系統的氣路結構,了解真空系統各元件的作用以及操作部分的電路聯接。②關閉放氣閥門,啟動機械泵,對系統進行抽氣,并隨時用火花檢漏器對系統各部分進行檢漏。如系全金屬系統,則可關閉閥門,用真空計讀數記下P-t曲線(作靜態升壓試驗)。如壓強隨時間呈直線上升,可斷定系統有漏氣源,應進行檢漏。③當系統真空度達到油擴散泵的前置壓強(5×10-2托)后,啟動擴散泵,使加熱電流逐漸升到額定(佳)值。在啟動擴散泵前,必須先開冷卻水。④擴散泵正常工作后,用火花檢漏器(或熱偶計)判斷量測系統的真空度。到10-3托以上(熱偶計近滿偏或95格以上)才能使用電離真空計。使用時先對規管除氣,后測量真空度。



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