iGX100L半導(dǎo)體真空泵維修-廈門(mén)太星機(jī)電供應(yīng)服務(wù)

廈門(mén)太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷(xiāo)售及維修工程師團(tuán)隊(duì)組成，公司提供國(guó)外及國(guó)內(nèi)廠(chǎng)家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴(kuò)散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測(cè)量，真空泵油及其備品備件。

高真空油擴(kuò)散泵是一種蒸氣射流泵，其工作原理是把工作介質(zhì)(擴(kuò)散泵油)的動(dòng)能在抽氣方向上傳給被抽氣體來(lái)作為基礎(chǔ)的。擴(kuò)散泵的抽氣過(guò)程是被抽氣體擴(kuò)散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口排除的過(guò)程。其工作極限真空度在10-2~10-5 Pa范圍內(nèi)。應(yīng)用在設(shè)備上的擴(kuò)散泵工作范圍在10-2~10-4 Pa范圍內(nèi)。

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散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下。

1、油擴(kuò)散泵的返流。

2、氣體分子的反擴(kuò)散。

3、擴(kuò)散泵油的裂化分解，一般擴(kuò)散泵對(duì)其工作油的要求是飽和蒸氣壓以?xún)?nèi)(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點(diǎn)的液體，如硅油是擴(kuò)散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。

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（1）目前國(guó)內(nèi)生擴(kuò)散泵的廠(chǎng)家較多，型號(hào)、尺寸不統(tǒng)一，大泵越作越大，小泵則很少生產(chǎn)。況且對(duì)泵的性能也沒(méi)有考核指標(biāo)。行業(yè)應(yīng)對(duì)提和質(zhì)量進(jìn)行定期檢查、組織生產(chǎn)廠(chǎng)家多做改進(jìn)工作，使用戶(hù)配套方便。（2）泵在結(jié)構(gòu)方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級(jí)數(shù)，提高在4×10-1Pa時(shí)的抽氣量。給出對(duì)幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設(shè)置擋油帽，過(guò)熱保護(hù)裝置（對(duì)冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線(xiàn)測(cè)和自動(dòng)保護(hù)。可自動(dòng)切斷和復(fù)位）。出口壓力的監(jiān)控。（4）規(guī)定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶(hù)及時(shí)注油。從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時(shí)更換。（5）給出合適的前級(jí)泵的容量。（6）為了節(jié)能加熱功率要可調(diào)，要快速起動(dòng)和快速冷卻停泵，提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線(xiàn)，好給出對(duì)一些氣體的壓縮比（方便用戶(hù)選用。（8）用微機(jī)控制運(yùn)行和故障診斷。（9）密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進(jìn)一步降低返油率，擴(kuò)大油擴(kuò)散泵的用途。油擴(kuò)散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數(shù)部件需要維修，泵內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。