半導(dǎo)體真空泵-半導(dǎo)體真空泵系統(tǒng)-廈門太星機電供應(yīng)服務(wù)
廈門太星機電有限公司
經(jīng)營模式：商業(yè)服務(wù)
地址：廈門市集美區(qū)東安前占里19號之二
主營：真空泵,螺桿真空泵,水環(huán)真空泵,真空泵機組
業(yè)務(wù)熱線：0592-6800154
產(chǎn)品詳情
聯(lián)系方式
產(chǎn)品品牌：廈門太星機電
供貨總量：不限
價格說明：議定
包裝說明：不限
物流說明：貨運及物流
交貨說明：按訂單
有效期至：長期有效
半導(dǎo)體真空泵-半導(dǎo)體真空泵系統(tǒng)-廈門太星機電供應(yīng)服務(wù)
廈門真空泵維修,廈門真空泵,廈門螺桿真空泵
廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。
散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。
影響油擴散泵性能的因素如下。
1、油擴散泵的返流。
2、氣體分子的反擴散。
3、擴散泵油的裂化分解，一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點的液體，如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。
4、泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。
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擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強，被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮，由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達到抽氣目的。
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（1）目前國內(nèi)生擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統(tǒng)一，大泵越作越大，小泵則很少生產(chǎn)。況且對泵的性能也沒有考核指標(biāo)。行業(yè)應(yīng)對提和質(zhì)量進行定期檢查、組織生產(chǎn)廠家多做改進工作，使用戶配套方便。（2）泵在結(jié)構(gòu)方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數(shù)，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設(shè)置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護?？勺詣忧袛嗪蛷?fù)位）。出口壓力的監(jiān)控。（4）規(guī)定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時更換。（5）給出合適的前級泵的容量。（6）為了節(jié)能加熱功率要可調(diào)，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設(shè)備的運轉(zhuǎn)率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。（8）用微機控制運行和故障診斷。（9）密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進一步降低返油率，擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數(shù)部件需要維修，泵內(nèi)無運動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。
黃經(jīng)理先生
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