高真空油擴散泵保養(yǎng)-油擴散泵-廈門太星機電

廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內廠家生產的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

擴散泵在長期工作后性能會逐漸變壞，應定期檢查。如：泵油是否減少或氧化，按相應要求加油或更換處理；零件及泵腔先用航空清洗，然后用進行擦洗，并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風吹干。處理完后，按順序進行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調整好。

待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。

在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是：啟動維護泵，關好大門，數分鐘后，觀察真空度，同時檢查連接處是否漏裝密封膠圈，或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒壞，無法進入工作狀態(tài)。

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鍋爐內泵油的不穩(wěn)定沸騰，會使噴出的蒸汽射流的密度波動，從而引起抽速和輕氣體壓縮比的變化。鍋爐可能一時過熱，使之有一段爆沸的時間，其補救的辦法是在現代的油擴散泵中采用有翼片的鍋爐，增加內表面積，降低熱流密度，增加功率能使爆沸減低到小或消除。在真空中，強力的爆沸，會引起自爆升騰，對噴咀，引起瞬間堵塞，造成汽流波動。泵內加防爆板可以防止爆沸的影響，因對輕氣體壓縮比低，可引起壓力的不穩(wěn)定，增加功率和泵的級數是有利的。在擴散泵中設置側面出口噴射噴咀和擴壓器，可使擴散泵這種不穩(wěn)定性減至小。頂噴咀帽過冷也會引起蒸汽流不連續(xù)，導致壓力的不穩(wěn)定。設法保持頂噴咀的溫度不降，不使其過冷。來自橡膠密封的氣泡，有時油捕集氣體，通過密封膠圈滲透放出，因氣泡有一定壓力使油膜后進入系統中。密封槽內集存的泵油應能排出，可使不穩(wěn)定減少，若用金屬墊圈就更好了。設計良好的冷帽能防止油滴落到頂噴咀的熱表面上蒸發(fā)。在用碳氫化合物泵油時，操作不當，擴散泵系統有發(fā)生的危險。大多數情況下規(guī)管的燈絲就是點火源。泵的日常操作要規(guī)范，定期檢查泵油的質和量。

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（1）目前國內生擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統一，大泵越作越大，小泵則很少生產。況且對泵的性能也沒有考核指標。行業(yè)應對提和質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作，使用戶配套方便。（2）泵在結構方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護?？勺詣忧袛嗪蛷臀唬３隹趬毫Φ谋O(jiān)控。（4）規(guī)定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。（5）給出合適的前級泵的容量。（6）為了節(jié)能加熱功率要可調，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設備的運轉率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。（8）用微機控制運行和故障診斷。（9）密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進一步降低返油率，擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數部件需要維修，泵內無運動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。