油擴散泵保養(yǎng)問題-油擴散泵-廈門太星機電

廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

（1）目前國內(nèi)生擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統(tǒng)一，大泵越作越大，小泵則很少生產(chǎn)。況且對泵的性能也沒有考核指標。行業(yè)應(yīng)對提和質(zhì)量進行定期檢查、組織生產(chǎn)廠家多做改進工作，使用戶配套方便。（2）泵在結(jié)構(gòu)方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數(shù)，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設(shè)置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和復(fù)位）。出口壓力的監(jiān)控。（4）規(guī)定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時更換。（5）給出合適的前級泵的容量。（6）為了節(jié)能加熱功率要可調(diào)，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設(shè)備的運轉(zhuǎn)率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。（8）用微機控制運行和故障診斷。（9）密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進一步降低返油率，擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數(shù)部件需要維修，泵內(nèi)無運動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。

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擴散泵的缺點是返油問題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油擴散泵致命的缺點就是泵油返流污染被抽系統(tǒng)。經(jīng)過大量的研究，現(xiàn)代擴散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施，使擴散泵的返油率降得很低。所有的油擴散泵都存在一定程度的返流現(xiàn)象。返流的氣體是少量殘余的碳氫化合物。返流有兩個不同性質(zhì)的來源：泵油分子朝向擴散泵頂噴咀的上方運動構(gòu)成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發(fā)。利用好的鍋爐和噴咀設(shè)計，可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設(shè)置水冷擋油帽，它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置，由于不斷對冷帽結(jié)構(gòu)的改進，使主要返流大大降低。

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利用水冷擋油帽，使泵的抽速稍有損失外，可使返油率降低。對于許多應(yīng)用場合是允許的。若在系統(tǒng)附加些管道、閥門和彎管，可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光學(xué)密閉的障板，可限制主要返流，但使泵的抽速約下降50%。次要的返流（即冷凝在表面上的泵油遷移和再蒸發(fā)是表面溫度和泵油蒸汽壓的函數(shù)，到達真空室的這種返流量取決于設(shè)置在泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度，常用液氮（ 77K）冷阱來捕集油分子。因此真空室的壓力明顯地低于泵油的蒸汽壓。障板或冷阱不僅必須光學(xué)密閉，而且還必須使進入障板或冷阱的油分子與冷面少碰撞一次。對于使用吸附劑（如沸石）的障板，為避免油分子直線飛行，要設(shè)置交錯的吸附劑托盤。沸石是一種含有直徑比氣體分子直徑稍大的微孔物質(zhì)。1盎司（ 28.35g）沸石內(nèi)部約有5英畝吸附面積，在小型超高真空系統(tǒng)中，使用分子吸附劑障板是有效的。因為在低壓下，在幾個星期內(nèi)它能連續(xù)地吸附碳氫化合物和其它氣體，并不需要液氮。