油擴散泵保養問題-油擴散泵-廈門太星機電
廈門太星機電有限公司
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油擴散泵保養問題-油擴散泵-廈門太星機電
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廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內廠家生產的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。
擴散泵是真空鍍膜機的主要部件，為保證真空鍍膜機的正常穩定運行，平時對真空鍍膜機擴散泵的維護和保養就顯得尤為重要。今天成越科儀就給大家分享一下真空鍍膜機擴散泵維修與保養知識。
擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關閉冷卻水。
擴散泵停止工作時，泵內應保持真空狀態，以免泵油劣化。
被抽氣體應是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。
擴散泵如暫時不用，保管期間應該保持真空狀態，以免泵油污染和各零件腐蝕并將冷卻水套入的剩水吹凈。保持場地的室溫應在10-40攝氏度之間。
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擴散泵的缺點是返油問題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。
油擴散泵致命的缺點就是泵油返流污染被抽系統。經過大量的研究，現代擴散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施，使擴散泵的返油率降得很低。所有的油擴散泵都存在一定程度的返流現象。返流的氣體是少量殘余的碳氫化合物。返流有兩個不同性質的來源：泵油分子朝向擴散泵頂噴咀的上方運動構成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發。利用好的鍋爐和噴咀設計，可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設置水冷擋油帽，它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置，由于不斷對冷帽結構的改進，使主要返流大大降低。
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現代的油擴散泵在泵入口處，泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發速率的水平。
只有在使用時遵守一定的操作規程，才能保證系統的正常工作。前已詳細敘述過有關機械泵、擴散泵的操作規程。經人們生產實踐，對排氣系統，也同樣總結出來一套操作規程。以高真空排氣系統為例（其他真空設備可仿照施行），其操作規程如下：①檢查真空系統各部分，熟悉系統的氣路結構，了解真空系統各元件的作用以及操作部分的電路聯接。②關閉放氣閥門，啟動機械泵，對系統進行抽氣，并隨時用火花檢漏器對系統各部分進行檢漏。如系全金屬系統，則可關閉閥門，用真空計讀數記下P-t曲線（作靜態升壓試驗）。如壓強隨時間呈直線上升，可斷定系統有漏氣源，應進行檢漏。③當系統真空度達到油擴散泵的前置壓強（5×10-2托）后，啟動擴散泵，使加熱電流逐漸升到額定（佳）值。在啟動擴散泵前，必須先開冷卻水。④擴散泵正常工作后，用火花檢漏器（或熱偶計）判斷量測系統的真空度。到10-3托以上（熱偶計近滿偏或95格以上）才能使用電離真空計。使用時先對規管除氣，后測量真空度。
黃經理先生
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