愛德華??IXL900R真空泵常見故障與維修解決方案?

愛德華IXL900R 3090 HV干式真空泵用于半導體與科研領域。設備長期運行后可能出現異常,及時處理可保障穩定運行。
真空度不足或抽氣慢
- 抽真空時間延長,真空度不夠
- 原因:過濾器堵塞、泵內污染、密封泄漏
- 處理:更換過濾器、使用合規清洗劑、檢查密封件
設備溫度過高
- 泵體溫度異常,觸發報警
- 原因:冷卻不足、散熱片積塵
- 處理:檢查冷卻水、清理散熱器、聯系技術服務
運行異響或振動
- 工作時產生異常聲音或振動
- 原因:內部污染或部件磨損
- 處理:立即停機并聯系技術服務
服務支持:規范配件維護、合適環境維護、性能測試保障
遇到問題請及時聯系,我們將協助排查,提供解決方案,幫助恢復設備使用。
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